פּאַססיוואַטיאָן איז אַ האַרץ פּראָצעס אין די פּראָדוקציע פון ראָולדקופּער שטער. עס אקטן ווי אַ "מאָלעקולאַר-מדרגה שילד" אויף די ייבערפלאַך, פֿאַרבעסערן קעראָוזשאַן קעגנשטעל בשעת קעראָוזשאַן זעץ, די פּראַל אויף קריטיש פּראָפּערטיעס ווי קאַנדאַקטיוואַטי און סאַדעראַביליטי. דער אַרטיקל דעלווז אין די וויסנשאַפֿט הינטער פּאַססיוואַציע מעקאַניזאַמז, פאָרשטעלונג האַנדל-אָפס און ינזשעניעריע פּראַקטיסיז. ניצןסיוואַן מעטאַלברייקטראָוווז ווי אַ ביישפּיל, מיר וועט ויספאָרשן זייַן יינציק ווערט אין הויך-סוף עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג.
1. פּאַססיוואַטיאָן: אַ "מאָלעקולאַר-מדרגה שילד" פֿאַר קופּער שטער
1.1 ווי די פּאַססוויישאַן שיכטע פארמען
דורך כעמישער אָדער עלעקטראָטשעמיקאַל טריטמאַנץ, אַ סאָליד אַקסייד שיכטע 10-50 נם דיק פארמען אויף די ייבערפלאַך פון דיקופּער שטער. קאַמפּאָוזד דער הויפּט פון Cu₂o, Cuo, און אָרגאַניק קאַמפּלעקסאַז, די שיכטע גיט:
- גשמיות באַריערז:די הייך פון די זויערשטאָף דיפיוטאַנט דיקריסאַז צו 1 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 × 10 סענטימעטער (אַראָפּ פֿון 5 × 10⁻⁸ CM² / s פֿאַר נאַקעט קופּער).
- עלעקטראָטשעמיקאַל פּאַססיוואַטיאָן:קעראָוזשאַן קראַנט געדיכטקייַט טראפנס פון 10μA / CM² צו 01μA / CM².
- כעמישער ינערטנאַס:ייבערפלאַך פריי ענערגיע איז רידוסט פון 72mj / m² צו 35mj / m², סאַפּרעסינג ריאַקטיוו נאַטור.
1.2 פינף שליסל בענעפיץ פון פּאַססיוויישאַן
| פאָרשטעלונג אַספּעקט | אַנריטיד קופּער שטער | פּאַססיוואַטעד קופּער שטער | פאַרבעסערונג |
| זאַלץ שפּריץ פּרובירן (שעה) | 24 (קענטיק זשאַווער ספּאַץ) | 500 (קיין קענטיק קעראָוזשאַן) | + 1983% |
| אַקסאַדיישאַן פון הויך טעמפּעראַטור (150 ° C) | 2 שעה (טורנס שוואַרץ) | 48 שעה (מיינטיינז קאָליר) | + 2300% |
| סטאָרידזש לעבן | 3 חדשים (וואַקוום-פּאַקט) | 18 חדשים (נאָרמאַל פּאַקט) | + 500% |
| קאָנטאַקט קעגנשטעל (מω) | 0.25 | 0.26 (+ 4%) | - |
| הויך אָפטקייַט ינסערשאַן וואָג (10 גהז) | 0.15 דב / סענטימעטער | 0.16 דב / סענטימעטער (+ 6.7%) | - |
2. די "טאָפּל-שנלדיקע שווערד" פון פּאַססוויישאַן לייַערס און ווי צו וואָג עס
2.1 עוואַלואַטינג די ריסקס
- קליין רעדוקציע אין קאַנדאַקטיוואַטידי פּאַססיוואַטיאָן שיכטע ינקריסיז הויט טיפעניש (אין 10 גהז) פון 0.66μ ם צו 0.72μ6μ ם, אָבער דורך האַלטן גרעב אונטער 30 סענטימעטער, ינקריסאַז קענען זיין לימיטעד צו אונטער 5%.
- סאַדערינג טשאַלאַנדזשיז:נידעריקער ייבערפלאַך ענערגיע ינקריסאַז סאָלדער וועטינג אַנגלעס 15 ° צו 25 °. ניצן אַקטיוו סאַדער פּאַסטעס (ראַ טיפּ) קענען אָפסעט דעם ווירקונג.
- אַדכיזשאַן ישוז:סמאָלע באַנדינג פון סמאָלע באַנדינג קען פאַלן 10-15%, וואָס קענען זיין מיטאַגייטיד דורך קאַמביינינג רייַבן און פּאַססיוואַטיאָן פּראַסעסאַז.
2.2סיוואַן מעטאַלס באַלאַנסינג צוגאַנג
גראַדיענט פּאַססיוואַטיאָן טעכנאָלאָגיע:
- באַזע שיכטע:עלעקטראָטשעמיקאַל וווּקס פון 5 נם Cu₂o מיט (111) בילכער אָריענטירונג.
- ינטערמידייט שיכטע:א 2-3 לאַם בענזאָטריזאָלע (בטאַ) זיך-פארזאמלט פילם.
- ויסווייניקסט שיכטע:סילאַנע קאַפּלינג אַגענט (אַפּטעס) צו פֿאַרבעסערן סמאָלע אַדכיזשאַן.
אָפּטימיזעד פאָרשטעלונג רעזולטאַטן:
| מעטריק | IPC-456 באדערפענישן | סיוואַן מעטאַלקופּער שטער רעזולטאַטן |
| ייבערפלאַך קעגנשטעל (מω / סק) | ≤300 | 220-250 |
| שיילן שטאַרקייט (נ / סענטימעטער) | ≥0.8 | 1.2-1.5 |
| סאַדער שלאָס טענסאַל שטאַרקייט (מפּאַ) | ≥25 | 28-32 |
| ייאַניק מיגראַטיאָן קורס (μ ג / קמ ²) | ≤0.5 | 0.2-0.3 |
3. סיוואַן מעטאַלס פּאַססיוואַטיאָן טעכנאָלאָגיע: רידיפיינינג פּראַטעקשאַן סטאַנדאַרדס
3.1 אַ פיר-ריי שוץ סיסטעם
- הינטער-דין אַקסייד קאָנטראָל:דויפעק אַנאָדיזאַטיאָן אַטשיווז גרעב ווערייישאַן ין ± 2nm.
- אָרגאַניק-ינאָרגאַניק כייבריד לייַערס:בטאַ און סילאַנע אַרבעט צוזאַמען צו רעדוצירן קעראָוזשאַן רייץ צו 0.003 מם / יאָר.
- ייבערפלאַך אַקטאַוויישאַן באַהאַנדלונג:פּלאַזמע רייניקונג (אַר / אָ ₂ גאַז מיקס) ריסטאָרז סאָלדער וועטינג אַנגלעס צו 18 °.
- פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג:עלליפּסאָמעטרי ינשורז פּאַססייווז שיכטע גרעב אין ± 0.5 נם.
3.2 עקסטרעם סוויווע וואַלאַדיישאַן
- הויך הומידיטי און היץ:נאָך 1,000 שעה ביי 85 ° C / 85%, ייבערפלאַך קעגנשטעל קעגנשטעל דורך ווייניקער ווי 3%.
- טערמאַל קלאַפּ:נאָך 200 סייקאַלז פון -55 ° C צו + 125 ° C, קיין קראַקס דערשייַנען אין די פּאַססיויישאַן שיכטע (באשטעטיקט דורך סעם).
- כעמישער קעגנשטעל:קעגנשטעל צו 10% הקל פארע ינקריסאַז פון 5 מינוט צו 30 מינוט.
3.3 קאַמפּאַטאַבילאַטי אַריבער אַפּלאַקיישאַנז
- 5 ג מילאַמיטער-כוואַליע אַנטענאַז:28 גאַז ינסערטיאָן רידוסט צו בלויז 0.17 דב / סענטימעטער (קאַמפּערד צו קאָמפּעטיטאָרס '0.21 דב / סענטימעטער).
- אָטאַמאָוטיוו עלעקטראָניק:פּאַסיז ISO 16750-4 זאַלץ שפּריץ טעסץ, מיט עקסטענדעד סייקאַלז צו 100.
- יק סאַבסטרייץ:אַדכיזשאַן שטאַרקייט מיט אַבף סמאָלע ריטשאַז 1.8n / סענטימעטער (אינדוסטריע דורכשניטלעך: 1.2 ן / סענטימעטער).
4. די צוקונפֿט פון פּאַססוויישאַן טעכנאָלאָגיע
4.1 אַטאָמישע שיכטע דעפּאַזישאַן (אַלד) טעכנאָלאָגיע
דעוועלאָפּינג נאַנאָלאַמינאַנייט פּאַססיוואַטיאָן פילמס באזירט אויף אַלע
- גרעב:<5 נם, מיט קעגנשטעל פאַרגרעסערן ≤1%.
- קאַף (קאַנדאַקטיוו אַנאָדיק פאָדאַמענט) קעגנשטעל:5 קספּרעסס.
4.2 זיך-היילונג פּאַססיוואַטיאָן לייַערס
ינקאָרפּערייטינג מיקראָקאַפּס קעראָוזשאַן ינכיבאַטערז (בענזימדאַזאָלע דעריוואַטיווז):
- זיך-היילונג עפעקטיווקייַט:איבער 90% ין 24 שעה נאָך סקראַטשיז.
- סערוויס לעבן:עקסטענדעד צו 20 יאָר (קאַמפּערד צו די סטאַנדאַרט 10-15 יאר).
מסקנא:
פּאַססיוואַטיאָן באַהאַנדלונג אַטשיווז אַ ראַפינירט וואָג צווישן שוץ און פאַנגקשאַנאַליטי פֿאַר ראָולדקופּער שטער. דורך כידעש,סיוואַן מעטאַלמינימיזעס פּאַססיידזשאַן פון פּאַססוויישאַן, טורנינג עס אין אַ "ומזעיק פאנצער" אַז בוסץ פּראָדוקט רילייאַבילאַטי. ווי די עלעקטראָניק אינדוסטריע באוועגט צו העכער געדיכטקייַט און רילייאַבילאַטי, גענוי און קאַנטראָולד פּאַססיוואַטיאָן איז געווארן אַ קאָרנערסטאָון פון קופּער שטער מאַנופאַקטורינג.
פּאָסטן צייט: Mar-03-2025