פּאַסיוואַטיאָן איז אַ האַרץ פּראָצעס אין דער פּראָדוקציע פון ראָולדקופּער שטער. עס אקטן ווי אַ "מאָלעקולאַר-מדרגה שילד" אויף די ייבערפלאַך, ענכאַנסינג קעראָוזשאַן קעגנשטעל און קערפאַלי באַלאַנסינג זייַן פּראַל אויף קריטיש פּראָפּערטיעס ווי קאַנדאַקטיוואַטי און סאַדעראַביליטי. דער אַרטיקל דעלוווז אין די וויסנשאַפֿט הינטער פּאַסיוויישאַן מעקאַניזאַמז, פאָרשטעלונג האַנדל-אָפס און ינזשעניעריע פּראַקטיסיז. ניצןCIVEN METALס ברייקטרוז ווי אַ ביישפּיל, מיר וועלן ויספאָרשן זייַן יינציק ווערט אין הויך-סוף עלעקטראָניק מאַנופאַקטורינג.
1. פּאַסיוואַטיאָן: א "מאָלעקולאַר-מדרגה שילד" פֿאַר קופּער שטער
1.1 ווי די פּאַסיוויישאַן שיכטע פארמען
דורך כעמישער אָדער עלעקטראָטשעמיקאַל טריטמאַנץ, אַ סאָליד אַקסייד שיכטע 10-50נם דיק פארמען אויף די ייבערפלאַך פון דיקופּער שטער. די שיכטע איז קאַמפּאָוזד דער הויפּט פון Cu₂O, CuO און אָרגאַניק קאַמפּלעקסאַז:
- גשמיות באַריערז:די זויערשטאָף דיפיוזשאַן קאָואַפישאַנט דיקריסאַז צו 1 × 10⁻¹⁴ סענטימעטער²/s (אַראָפּ פון 5 × 10⁻⁸ סענטימעטער²/s פֿאַר נאַקעט קופּער).
- עלעקטראָטשעמיקאַל פּאַסיוויישאַן:קעראָוזשאַן קראַנט געדיכטקייַט טראפנס פון 10μA/cm² צו 0.1μA/cm².
- כעמישער ינערטנאַס:ייבערפלאַך פריי ענערגיע איז רידוסט פון 72mJ/m² צו 35mJ/m², סאַפּרעסינג ריאַקטיוו נאַטור.
1.2 פינף שליסל בענעפיץ פון פּאַסיוויישאַן
| פאָרשטעלונג אַספּעקט | אַנטריטיד קופּער פויל | פּאַסיוואַטעד קופּער פויל | פֿאַרבעסערונג |
| זאַלץ שפּריץ טעסט (שעה) | 24 (קענטיק זשאַווער ספּאַץ) | 500 (קיין קענטיק קעראָוזשאַן) | +1983% |
| הויך-טעמפּעראַטור אַקסאַדיישאַן (150 ° C) | 2 שעה (ווערט שוואַרץ) | 48 שעה (מיינטיין קאָליר) | +2300% |
| סטאָרידזש לעבן | 3 חדשים (וואַקוום-פּאַקט) | 18 חדשים (נאָרמאַל פּאַקט) | +500% |
| קאָנטאַקט קעגנשטעל (מΩ) | 0.25 | 0.26 (+4%) | — |
| הויך-אָפטקייַט ינסערשאַן אָנווער (10GHz) | 0.15 דב / סענטימעטער | 0.16דB/cm (+6.7%) | — |
2. די "טאָפּל-שנלדיקע שווערד" פון פּאַסיוויישאַן לייַערס - און ווי צו באַלאַנסירן עס
2.1 עוואַלואַטינג די ריסקס
- קליין רעדוקציע אין קאַנדאַקטיוואַטי:די פּאַסיוויישאַן שיכטע ינקריסאַז הויט טיפקייַט (ביי 10 גהז) פון 0.66 μם צו 0.72 μם, אָבער דורך בעכעסקעם גרעב אונטער 30 נם, רעסיסטיוויטי ינקריסאַז קענען זיין לימיטעד צו אונטער 5%.
- סאַדערינג טשאַלאַנדזשיז:נידעריקער ייבערפלאַך ענערגיע ינקריסאַז סאַדער וועטינג אַנגלעס פון 15 ° צו 25 °. ניצן אַקטיוו סאַדער פּאַסטעס (ראַ טיפּ) קענען אָפסעט דעם ווירקונג.
- אַדכיזשאַן ישוז:סמאָלע באַנדינג שטאַרקייַט קען פאַלן 10-15%, וואָס קענען זיין מיטאַגייטיד דורך קאַמביינינג ראַפאַנינג און פּאַסיוויישאַן פּראַסעסאַז.
2.2CIVEN METALס באַלאַנסינג צוגאַנג
גראַדיענט פּאַסיוואַטיאָן טעכנאָלאָגיע:
- באַזע שיכטע:עלעקטראָטשעמיקאַל וווּקס פון 5nm Cu₂O מיט (111) בילכער אָריענטירונג.
- ינטערמידייט שיכטע:א 2-3 נם בענזאָטריאַזאָלע (בטאַ) זיך-פארזאמלט פילם.
- ויסווייניקסט שיכטע:סילאַנע קאַפּלינג אַגענט (APTES) צו פֿאַרבעסערן סמאָלע אַדכיזשאַן.
אָפּטימיזעד פאָרשטעלונג רעזולטאַטן:
| מעטריק | IPC-4562 רעקווירעמענץ | CIVEN METALקופּער פויל רעזולטאַטן |
| ייבערפלאַך קעגנשטעל (mΩ/קוואדראט) | ≤300 | 220-250 |
| שאָלעכץ שטאַרקייַט (N/cm) | ≥0.8 | 1.2-1.5 |
| סאַדער דזשאָינט טענסאַל שטאַרקייַט (MPa) | ≥25 | 28–32 |
| יאָניק מיגראַטיאָן קורס (μg/cm²) | ≤0.5 | 0.2-0.3 |
3. CIVEN METALס פּאַסיוואַטיאָן טעכנאָלאָגיע: רידיפיינינג שוץ סטאַנדאַרדס
3.1 א פיר-טיער שוץ סיסטעם
- הינטער-דין אַקסייד קאָנטראָל:דויפעק אַנאָדיזאַטיאָן אַטשיווז גרעב ווערייישאַן ין ± 2נם.
- אָרגאַניק-ינאָרגאַניק היבריד לייַערס:BTA און סילאַנע אַרבעטן צוזאַמען צו רעדוצירן קעראָוזשאַן ראַטעס צו 0.003 מם/יאָר.
- ייבערפלאַך אַקטאַוויישאַן באַהאַנדלונג:פּלאַזמע רייניקונג (אַר / אָ₂ גאַז מישן) ריסטאָרז סאַדער וועטינג אַנגלעס צו 18 °.
- פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג:עלליפּסאָמעטרי ינשורז פּאַסיוויישאַן שיכטע גרעב ין ± 0.5נם.
3.2 עקסטרעמע סביבה וואַלידאַציע
- הויך הומידיטי און היץ:נאָך 1,000 שעה בייַ 85 ° C / 85% רה, ייבערפלאַך קעגנשטעל ענדערונגען מיט ווייניקער ווי 3%.
- טערמאַל שאָק:נאָך 200 סייקאַלז פון -55 ° C צו +125 ° C, קיין קראַקס דערשייַנען אין די פּאַסיוויישאַן שיכטע (באשטעטיקט דורך סעם).
- כעמישער קעגנשטעל:קעגנשטעל צו 10% הקל פארע ינקריסיז פון 5 מינוט צו 30 מינוט.
3.3 קאַמפּאַטאַבילאַטי צווישן אַפּלאַקיישאַנז
- 5G מיללימעטער כוואַליע אַנטענאַז:28 גהז ינסערשאַן אָנווער רידוסט צו בלויז 0.17 דב / סענטימעטער (קאַמפּערד צו קאָמפּעטיטאָרס '0.21 דב / סענטימעטער).
- אַוטאָמאָטיווע עלעקטראָניק:פּאַסיז ISO 16750-4 זאַלץ שפּריץ טעסץ, מיט עקסטענדעד סייקאַלז צו 100.
- IC סאַבסטרייט:אַדכיזשאַן שטאַרקייַט מיט ABF סמאָלע ריטשאַז 1.8N/cm (אינדוסטריע דורכשניטלעך: 1.2N/cm).
4. די צוקונפֿט פון פּאַסיוואַטיאָן טעכנאָלאָגיע
4.1 אַטאָמישע שיכטע דעפּאָסיטיאָן (ALD) טעכנאָלאָגיע
דעוועלאָפּינג נאַנאָלאַמינאַטע פּאַסיוויישאַן פילמס באזירט אויף Al₂O₃/TiO₂:
- גרעב:<5nm, מיט רעסיסטיוויטי פאַרגרעסערן ≤1%.
- CAF (Conductive Anodic Filament) קעגנשטעל:5x פֿאַרבעסערונג.
4.2 זיך-היילונג פּאַסיוויישאַן לייַערס
ינקאָרפּערייטינג מיקראָקאַפּסול קעראָוזשאַן ינכיבאַטערז (בענזימידאַזאָל דעריוואַטיווז):
- זיך-היילונג עפעקטיווקייַט:איבער 90% ין 24 שעה נאָך סקראַטשיז.
- דינסט לעבן:עקסטענדעד צו 20 יאר (קאַמפּערד צו די נאָרמאַל 10-15 יאר).
מסקנא:
פּאַסיוואַטיאָן באַהאַנדלונג אַטשיווז אַ ראַפינירט וואָג צווישן שוץ און פאַנגקשאַנאַליטי פֿאַר ראָולדקופּער שטער. דורך חידושים,CIVEN METALמינאַמייז די דאַונסיידז פון פּאַסיוויישאַן, און ווענדן עס אין אַ "ומזעיק פאנצער" וואָס בוסט פּראָדוקט רילייאַבילאַטי. ווי די עלעקטראָניק אינדוסטריע באוועגט צו העכער געדיכטקייַט און רילייאַבילאַטי, גענוי און קאַנטראָולד פּאַסיוויישאַן איז געווארן אַ קאָרנערסטאָון פון קופּער שטער מאַנופאַקטורינג.
פּאָסטן צייט: מערץ 03-2025